UPT-20系列超高纯VCR压力传感器_亚曼诺工业自动化（苏州）有限公司-RMNO-亚曼诺-超高纯压力表

应用范围：

■ UPT20系列超高纯VCR压力传感器设计精巧，其紧凑的外形设计便于紧凑安装。传感器全程在经过第三方认证的千级洁净室中生产，保证了产品质量，伟超高纯度气体输送系统提供优良的性能和可靠性。广泛应用于光伏半导体、电子制造等行业。

■ VCR接头洁净度高（组件经过电抛光及清洗等工艺处理）、密封性好，特别适用于要求无泄漏的超高纯净系统、超高真空系统及高压系统。

品牌：亚曼诺
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■ VCR相容密封装置

■ 100%氦质谱捡漏，西楼测试≤10-9Pa·m³/s

■ 316L不锈钢电解抛光接液元件

■ EP级表面压力链接Ra≤0.25um

■ 采用玻璃微熔传感元件

■ 氧清洗处理

测量介质	高纯气体或者液体
储存温度范围	-40-120℃
量程范围	-1bar-500bar
介质温度	-20-85℃
精度（参考温度25℃）	±0.5%（标准）0.25%FS（可选）满量程
可靠性	每个传感器均经过检验，以满足SEMI™标准在密封性、过压稳定性、准确度和颗粒方面的要求
零点温度漂移	±0.01%F.S./℃
耐冲击	490m/s²
接液材质	316L不锈钢
耐震性	147m/s²
输出信号	4~20mA,0~10CDV,0~5VDC,1~5CDV,0.5~4.5CDV
电源	5±0.5VDC,9-36CDV
过程连接	Female 9/16-18UNF(1/4FVCR) Male 9/16-18unf(1/4MVCR) 1/4NPT Male