HPS10系列高纯压力开关_亚曼诺工业自动化（苏州）有限公司-RMNO-亚曼诺-超高纯压力表

应用范围：

■ HPS10系列高纯 VCR 压力开关设计采用了高性能微动开关，可以实现高精度的压力控制。

■ 压力开关全程在经过第三方认证的干净洁净室中生产，保证了产品质量及性能的稳定性。

■ 产品主要应用于半导体设备上，以满足设备高精度频繁重复的报警、断开等联动其它执行机构的应用。开关接头采用316L洁净材料的 VCR 端面密封形式， VCR 接头组件经过电抛光氧清洗等工艺处理。产品100%出厂氦质谱捡漏测试。

品牌：亚曼诺
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■ 出厂设定压力可以选择真空或者绝压

■ 100％氦质谱捡漏，泄露测试＜10^9 Pa . m / s

■ 接液材质 VIM - VAR 316L, Hastelloy C -276

■ 表面压力连接 Ra ≤0.25um、 Ra ≤0.5um

接液材质	VIM-VAR 316L,HasteloyC-276
开关类型	一个SPDT
重复性（参考温度25℃）	±2%FS
死区	＜20%高报值
防护等级（EN60529）	IP68
开关触点容量	5A 250VAC 或3A 28VDC
过程连接	9/16"-18UNF固定螺纹（ VCR ) 9/16"-18UNF活动外螺纹（ VCR ) 9/16"-18UNF活动内螺纹（ VCR )
使用寿命	1*10^6次压力循环
电器接口	直接出线航空插头M12X1 RS -232接口
开关频率	不带电：最大200次／分钟带电：最大30次／分钟
温度范围	环境温度：-20-120℃ 介质温度：-20-120℃